Harmonic Drive-reduktor, RV-reduktorväxellåda, och precisions-planetreducerare hjälper waferhanteringssystem att uppnå högre automatiseringsnivåer

Med den kontinuerliga tekniska utvecklingen uppnår waferhanteringsrobotar gradvis högre nivåer av automatisering för att möta halvledartillverkningsindustrins krav och utmaningar.

● Harmonic Drive-växeln används, tack vare sin nollglapp, ultrahöga precision (bågsekundnivå) och låga vikt, ofta i utrustning som waferhanteringsarmar (Wafer Handler), litografimaskiner (Lithography) och maskiner anpassade för renrum.

● RV-reduktionsväxellådan används ofta i basen på robotarmar för lasthantering tack vare sin höga styvhet, höga vridmoment och långa livslängd.

● Precisions-planetväxeln används i stor utsträckning i utrustning som wafertransportband, indexerande rundbord och wafer-förjusterare tack vare sin höga vridmomentsdensitet och kompakta struktur.

SCARA-waferhanteringsrobotar med direktdrift

Robotar av SCARA-typ använder högprecisionsvinkelsensorer för positionsåterkoppling, vilket underlättar justering av robotrörelser och kompensation av rotationsvinklar för att säkerställa att ändeffektorn pekar i önskad riktning.

I J3- och J4-lederna (underarms- och handledslederna) på SCARA-robotarmar spelar Harmonic Drive-växlar en oersättlig roll. Principen med elastisk deformation i harmonic drives flexspline eliminerar helt mekaniskt glapp, vilket är avgörande för att säkerställa noggrannheten vid waferplacering och minska ändeffektorns tröghet.

Förseglade RV-reduktionsväxellådor hjälper vakuumrobotarmar för waferhantering

RV-reduktionsväxellådor är vanliga komponenter i waferhanteringsrobotarmar tack vare sin höga styvhet och långa livslängd. Vakuumutrustning för waferhantering ställer högre krav på renhet och stabilitet.

HONPINE erbjuder kundanpassade förseglade RV-reduktionsväxellådor som kan integrera inbyggda motorer. Den förseglade konstruktionen gör RV-reduktionsväxellådan enklare att installera och använda, minskar installationstiden för waferhanteringssystem och förbättrar konstruktionssäkerheten.

Precisions-planetväxlar ger effektiv transmission och fler valmöjligheter

Flerstegskugghjulsarrangemanget i precisions-planetväxlar minimerar energiförlusten och uppnår en transmissionseffektivitet på över 90%. Denna energieffektiva egenskap för energiomvandling bidrar till att minska energiförbrukningen och ger företag ekonomiska fördelar.

Waferhanteringssystem kräver många olika typer av utrustning, och ett enskilt projekt innebär ofta investeringar på miljarder. Hur man effektivt kan spara på initiala investeringskostnader och långsiktiga driftskostnader är en viktig fråga för tillverkare.

Dessutom ger det mångsidiga urvalet av precisions-planetväxlar företag produkter som bättre uppfyller deras behov. Beroende på waferhanteringssystemets konstruktion kan enstegs-, tvåstegs- eller flerstegsreduktionskonfigurationer väljas för att uppfylla olika krav på hastighet och vridmoment.

Robotstrukturer finns i olika former. För robotar med repetitiva, fasta banor bör lämplig struktur och frihetsgrader väljas utifrån de faktiska förhållandena.

Typiska rotationslösningar för robotarmar omfattar:

Rotation för stor arm: AC-servomotor → Harmonic Drive-växel/RV-reduktionsväxellåda/Precisions-planetväxel → Lageranslutning → Stor arm

Rotation för liten arm: AC-servomotor → Harmonic Drive-växel/RV-reduktionsväxellåda → Lageranslutning → Liten arm

Vid val av växlar för waferhanteringssystem måste faktorer som precision, renhet, hastighet och belastning beaktas samlat.

Kontakta HONPINE för att tillsammans med våra tekniska experter lösa utmaningar inom precisionstransmission för waferhanteringssystem och få de mest lämpliga växellösningarna.