Harmonic Drive-reduktor, RV-reduktorväxellåda, och precisions-planetreducerare hjälper waferhanteringssystem att uppnå högre automatiseringsnivåer
Med den kontinuerliga tekniska utvecklingen uppnår waferhanteringsrobotar gradvis högre nivåer av automatisering för att möta halvledartillverkningsindustrins krav och utmaningar.
Harmonic Drive-växeln används, tack vare sin nollglapp, ultrahöga precision (bågsekundnivå) och låga vikt, ofta i utrustning som waferhanteringsarmar (Wafer Handler), litografimaskiner (Lithography) och maskiner anpassade för renrum.
RV-reduktionsväxellådan används ofta i basen på robotarmar för lasthantering tack vare sin höga styvhet, höga vridmoment och långa livslängd.
Precisions-planetväxellådan används i stor utsträckning i utrustning som wafertransportband, indexerande rundbord och wafer-förjusterare tack vare sin höga vridmomentsdensitet och kompakta struktur.