Den linjära rotationsaktuatorn (även känd som ZR-aktuatorn) är en högt integrerad tvådimensionell rörelsemodul som kombinerar linjär lyftning (Z-axis) och 360° rotation (R-axis). Den använder en linjärmotor för exakt linjär rörelse och en servomotor för att driva rotationsrörelsen. Genom att kombinera de två axlarna kan den utföra synkroniserade sammansatta rörelser såsom lyftning, rotation och vinkelkalibrering. Den är idealisk för högprecisionsapplikationer såsom placering av halvledarchip och precisionsmontering.